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闪测仪测量微小特征（<0.1mm）时亚像素边缘定位精度不足如何解决？

发表于 2026-4-14 10:33:45 | 显示全部楼层 |阅读模式

【求助】被测件有0.05mm的细小凹槽和凸起，用闪测仪测量时边缘定位波动较大，重复测量结果不一致。亚像素算法是否有限制？有没有提升微小特征测量精度的方法？

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