提供一下amsl光刻机的详细制作方法

wafer

一、准备工作：

1、准备必要的设备：激光器、放大放大器、波长调制器、控制封装、AOI激光发射器、光电探测器、模式分析仪；

2、准备光刻胶、硅膜等材料，以便光刻印刷工艺。

二、制作步骤：

1、安装激光器：根据激光器的要求安装好激光器。

2、调节波长：将波长调制器连接激光器，调节激光器的输出波长。

3、安装控制封装：将激光器、放大器、波长调制器等设备安装在一起，形成控制封装。

4、安装AOI激光发射器：将AOI激光发射器安装在固定在回波面板上。

5、安装光电探测器：安装在距离反射面板足够远的位置上。

6、安装模式分析仪：安装在距离发射器，光电探测器和发射设备足够远的位置上。

7、备好光刻胶和硅膜：准备好良好的光刻胶和硅膜，准备好完善的光刻系统。

8、光刻印刷：只需安装激光源、反射面板、AOI激光发射器、光电探测器、模式分析仪等设备，并放置光刻胶和硅膜材料，就可以进行光刻印刷工艺。