SINF File Format

huangyhg

https://www.artwork.com/gdsii/stepper/sinf.htm
SINF File Format

The SINF wafer map format is a text format that defines the relative position of die on a wafer and assigns each die a code that a machine can use to bin the die or otherwise do something. The format includes a header followed by rows of wafer data. A partial section is shown below:

Header

DEVICE:xxx    identification assigned by originator
LOT:xxx       identification assigned by originator
WAFER:xxx     identification assigned by originator
FNLOC:180     wafer flat position (0=TOP,90=RIGHT,180=BOT 270=LEFT)
ROWCT:62      number of rows
COLCT:63      number of columns
BCEQU:01      List of Bin Codes that are good die
REFPX:        x-coord of reference die (optional)
REFPY:        y-coord of reference die (optional)
DUTMS:mm      die units of measurement (mm or mil)
XDIES:2.945   step along X
YDIES:2.945   step along Y


Row Data

Following the header is row data. It is identfied by the keyword RowData: Here are the various "symbols" one will find in the row data:


00-0A    good die (each die type gets its own unique identifier starting at 00, 01, 02 ...)
         reserve 0A for the die at wafer center.

0B-F0    bad die

__       no die (underscore-underscore)

FD-FE    edge die (optional)

FF       reference die (typically a die that is visually different)

and here is a partial file example (the entire file can be downloaded below)

DEVICE:xxx
LOT:xxx
WAFER:xxx
FNLOC:180
ROWCT:62
COLCT:63
BCEQU:01
REFPX:
REFPY:
DUTMS:mm
XDIES:2.945
YDIES:2.945
RowData:__ __ __ __ __ __ __ __ __ __ __ __ __ __ __ __ __ __ __ __ 01 01 01 01 __ __ __ __ __ 01 01 01 01 01 01 01 01
RowData:__ __ __ __ __ __ __ __ __ __ __ __ __ __ __ __ __ __ 01 01 01 01 01 01 01 01 01 01 01 01 01 01 01 01 01 01 01
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