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huangyhg
发表于 2023-1-7 10:18:54
晶圆的外轮廓加工精度大致是多少?
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晶圆的外轮廓加工精度一般在±5μm以内,具体精度取决于晶圆的尺寸和加工工艺。
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晶圆的外轮廓加工精度大致是多少?